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RIE / PECVD Wafer Automation

Etch, Diffusion, Anti Reflection Coating 위해 각각의 공정 설비에 웨이퍼를 공급해주는 물류장비이다.

웨이퍼를 cassette magazine으로부터 빼어내어 multiple configuration tray에 자동으로 탑재하여 각각의 공정 설비로 tray를 이송해 준 후 공정 작업이 끝난 tray로부터 웨이퍼를 unloading하여 다시 cassette magazine에 탑재하고 empty tray는 다시 loading 부위로 순환시키는 자동 물류 장치이다

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